內容簡介
《氧化鋅透明導電薄膜及其應用》主要介紹瞭新型ZnO基透明導電薄膜和低成本、大麵積濕化學法成膜技術;概述瞭透明導電氧化物薄膜的透明導電機理、材料體係、摻雜策略、製備技術、應用開發及發展趨勢;比較瞭氣相沉積法與濕化學沉積法的成膜機理;重點論述瞭溶膠�材�膠法、噴霧熱分解法、電沉積法、化學浴沉積法等低成本、大麵積製備ZnO基透明導電薄膜和ZnO納米綫陣列膜的濕化學法可控生長及其應用於太陽能電池。
《氧化鋅透明導電薄膜及其應用》可供從事無機非金屬材料、透明導電氧化物(或透明氧化物半導體)、薄膜太陽能電池、新能源材料與器件等領域的科研人員和技術人員參考,也可供高等學校相關專業的師生參閱。
目錄
第1章 透明導電氧化物薄膜概述
1.1 引言
1.2 太陽光譜基礎知識
1.2.1 太陽常數與大氣質量
1.2.2 太陽光譜分布
1.3 TCO薄膜的透明導電機理
1.3.1 TCO薄膜的透光性
1.3.2 TCO薄膜的導電性
1.3.3 導電性與透光性的關係
1.4 TCO薄膜的材料體係
1.4.1 n型摻雜TCO薄膜
1.4.2 p型摻雜TCO薄膜
1.4.3 多元氧化物復閤TCO薄膜
1.4.4 非晶TCO薄膜
1.5TCO 薄膜的應用開發
1.5.1 太陽能電池
1.5.2 透明薄膜晶體管
1.5.3 其他方麵的應用
參考文獻
第2章 ZnOTCO薄膜的結構、特性及製備技術
2.1 引言
2.2 ZnO的晶體結構及基本性質
2.3 ZnO的能帶結構
2.4 ZnOTCO薄膜的摻雜策略
2.4.1 化閤價
2.4.2 離子半徑
2.4.3 電負性
2.4.4 氧化態、離子外層電子構型
2.4.5 溫度
2.4.6 Madelung能
2.5 ZnOTCO薄膜的製備技術
2.5.1 磁控濺射法
2.5.2 脈衝激光沉積法
2.5.3 電子束蒸發法
2.5.4 金屬有機物化學氣相沉積法
2.5.5 噴霧熱分解法
2.5.6 溶膠�材�膠法
2.5.7 電化學沉積法
2.5.8 水熱法
2.5.9 化學浴沉積法
2.6 ZnO納米綫(或棒)陣列膜的可控生長
2.7 柔性襯底ZnOTCO薄膜的開發
2.7.1 柔性襯底材料
2.7.2 柔性 TCO 膜的製備技術
2.7.3 柔性襯底ZnOTCO膜的開發
2.8 絨麵ZnOTCO薄膜的開發
參考文獻
第3章 氣相沉積法與濕化學沉積法的成膜機理
3.1 引言
3.2 氣相沉積法的成膜機理
3.2.1 薄膜生長的熱力學原理
3.2.2 氣相沉積法成膜的動力學過程
3.3 溶膠凝膠法的成膜機理
3.3.1 成核與長大的熱力學原理
3.3.2 成核與長大的動力學解釋
參考文獻
第4章 溶膠凝膠法製備ZnO基透明導電薄膜
4.1 引言
4.2 Sol�瞘el法製備ZnO薄膜的化學反應原理
4.3 Sol�瞘el法製備ZnO薄膜的工藝控製
4.3.1 溶膠體係
4.3.2 基片處理
4.3.3 鍍膜工藝
4.3.4 熱處理製度
4.3.5 工藝流程
4.4 Sol�瞘el法製備ZnO薄膜的熱分解及晶化過程
4.4.1 TG�睤SC分析
4.4.2 晶相組成與結構錶徵
4.5 Al摻雜對ZnO薄膜結構及光電性能的影響
4.5.1 晶相組成與結構錶徵
4.5.2 光學性能
4.5.3 電學性能
4.6 Al�睸c共摻雜對ZnO薄膜結構及光電性能的影響
4.6.1 工藝流程
4.6.2 晶相組成與結構錶徵
4.6.3 光學性能
4.6.4 電學性能
4.6.5 摻雜機製的解釋
參考文獻
第5章 噴霧熱分解法製備ZnO基透明導電薄膜
第6章 電沉積法製備ZnO基透明導電薄膜
第7章 化學浴沉積法製備ZnO基薄膜
第8章 染料敏化ZnO納米綫(或棒)陣列太陽能電池
參考文獻
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