用於惡劣環境的碳化矽微機電係統 (英)張,王曉浩,唐飛,王文弢

用於惡劣環境的碳化矽微機電係統 (英)張,王曉浩,唐飛,王文弢 下載 mobi epub pdf 電子書 2024


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英張,王曉浩,唐飛,王文弢 著



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發表於2024-11-22

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圖書介紹

店鋪: 北京群洲文化專營店
齣版社: 科學齣版社
ISBN:9787030268624
商品編碼:29328961614
包裝:平裝
齣版時間:2010-03-01


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圖書描述

基本信息

書名:用於惡劣環境的碳化矽微機電係統

定價:35.00元

作者:(英)張,王曉浩,唐飛,王文弢

齣版社:科學齣版社

齣版日期:2010-03-01

ISBN:9787030268624

字數:

頁碼:

版次:1

裝幀:平裝

開本:16開

商品重量:0.640kg

編輯推薦


內容提要


碳化矽以其優異的溫度特性、電遷移特性、機械特性等,越來越被微電子和微機電係統研究領域所關注,不斷有新的研究群體介入這一材料及其應用的研究。《用於惡劣環境的碳化矽微機電係統》是目前譯者見到的一本係統論述碳化矽微機電係統的著作,作者是來自英國、美國從事碳化矽微機電係統研究的幾位學者,他們係統綜述瞭碳化矽生長、加工、接觸、腐蝕和應用等環節的技術和現狀,匯聚瞭作者大量的經驗和智慧。
  《用於惡劣環境的碳化矽微機電係統》可供從事微電子、微機械研究的科研人員參考閱讀,也可以作為研究生專業課程教材或參考書目。

目錄


作者介紹


文摘


序言



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