發表於2024-12-27
基本信息
書名:用於惡劣環境的碳化矽微機電係統
定價:35.00元
作者:(英)張,王曉浩,唐飛,王文弢
齣版社:科學齣版社
齣版日期:2010-03-01
ISBN:9787030268624
字數:
頁碼:
版次:1
裝幀:平裝
開本:16開
商品重量:0.640kg
編輯推薦
內容提要
碳化矽以其優異的溫度特性、電遷移特性、機械特性等,越來越被微電子和微機電係統研究領域所關注,不斷有新的研究群體介入這一材料及其應用的研究。《用於惡劣環境的碳化矽微機電係統》是目前譯者見到的一本係統論述碳化矽微機電係統的著作,作者是來自英國、美國從事碳化矽微機電係統研究的幾位學者,他們係統綜述瞭碳化矽生長、加工、接觸、腐蝕和應用等環節的技術和現狀,匯聚瞭作者大量的經驗和智慧。
《用於惡劣環境的碳化矽微機電係統》可供從事微電子、微機械研究的科研人員參考閱讀,也可以作為研究生專業課程教材或參考書目。
目錄
作者介紹
文摘
序言
用於惡劣環境的碳化矽微機電係統 (英)張,王曉浩,唐飛,王文弢 9787030268624 下載 mobi pdf epub txt 電子書 格式 2024
用於惡劣環境的碳化矽微機電係統 (英)張,王曉浩,唐飛,王文弢 9787030268624 下載 mobi epub pdf 電子書用於惡劣環境的碳化矽微機電係統 (英)張,王曉浩,唐飛,王文弢 9787030268624 mobi epub pdf txt 電子書 格式下載 2024