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《透明导电氧化物薄膜》全书共七章，包括了透明导电氧化物薄膜的基本特征、沉积制备、性能分析检测、微细结构、电学性能、光学性能及应用等内容。书中不仅包含作者近年来在国内外的最新研究成果，还概括了国内外很多学者在透明导电氧化物薄膜研究上的主要成就，是本比较系统全面的透明导电氧化物薄膜论著。内容简介
本书主要论述透明导电薄膜的性能与技术，比较系统全面地介绍了透明导电氧化物薄膜的结构、性能、制备、表征与应用，反映了当前透明导电氧化物薄膜性能与技术研究、发展的前沿信息。全书共七章，包括了透明导电氧化物薄膜的基本特征、沉积制备、性能分析检测、微细结构、电学性能、光学性能及应用等内容。书中不仅包含作者近年来在国内外的最新研究成果，还概括了国内外很多学者在透明导电氧化物薄膜研究上的主要成就，是本比较系统全面的透明导电氧化物薄膜论著。作者简介
姜辛，德国夫琅和费薄膜与表面工程研究所高级研究员，材料学专家。1983年毕业于吉林大学物理系，获学士学位；1992年在世界上首先获得金刚石在Si上的异质外延生长，该方法在全世界被广泛采用来制备高质量金刚石膜。在15年的科学研究中，在薄膜技术领域，尤其在金刚石外延领域多年处于世界领先地位，成为世界著名学者之一，其发表文章100余篇，引用总次数1000余次，国际特邀报告10余次。作为华人，首次在德国获得教授资格及第二学位（Dr.rer.nat.habil.），并在布伦瑞克大学任教授。目前主要从事薄膜太阳能电池，外延膜的生长，纳米复合梯度膜的制备，纳米材料等方面的研究。2002年同时受到德国Clausthal技术大学及济根大学终身教授聘请。
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目录
第一章 透明导电薄膜概述1.1 概述
1.2 透明导电薄膜的分类
1.3 透明导电薄膜的基本特性
1.3.1 透明导电金属薄膜
1.3.2 透明导电氧化物薄膜
1.4 透明导电氧化物薄膜的研究现状
1.4.1 SnO2薄膜及其掺杂体系
1.4.2 Cd2SnO4薄膜体系
1.4.3 In2O3薄膜及其掺杂体系
1.4.4 ZnO薄膜及其掺杂体系
1.5 透明导电氧化物薄膜的应用
1.5.1 ITO薄膜的主要应用
1.5.2 ZnO薄膜的主要应用
1.5.3 透明导电薄膜的其他应用
参考文献
第二章 透明导电氧化物薄膜的制备技术
2.1 概述
2.2 真空蒸发镀膜
2.2.1 真空蒸发镀膜原理
2.2.2 真空蒸发的方式和设备
2.3 溅射镀膜
2.3.1 概述
2.3.2 溅射镀膜原理
2.3.3 溅射镀膜的特点
2.3.4 溅射镀膜装置
2.3.5 磁控溅射沉积ITO薄膜
2.3.6 ITO镀膜生产实例
2.3.7 磁控溅射沉积ZnO薄膜
2.4 化学气相沉积
2.4.1 化学气相沉积的原理
2.4.2 化学气相沉积的分类与特点
2.4.3 化学气相沉积ITO薄膜工艺
2.4.4 化学气相沉积的ZnO薄膜制备工艺
2.5 其他化学沉积方法
2.5.1 溶胶-凝胶法制备透明导电薄膜
2.5.2 喷涂热分解法制备透明导电薄膜
2.6 透明导电薄膜制备技术的比较
2.6.1 不同技术沉积的ITO薄膜的性能比较
2.6.2 不同技术沉积的ZnO薄膜的性能比较
2.6.3 其他透明导电薄膜的制备技术
参考文献
第三章 薄膜的分析和性能检测技术
3.1 概述
3.2 薄膜形貌分析
3.2.1 扫描电子显微镜
3.2.2 透射电子显微镜
3.2.3 扫描探针显微镜
3.3薄 膜相结构分析
3.3.1 X射线衍射
3.3.2 电子衍射
3.4 薄膜成分分析
3.4.1 概述
3.4.2 电子探针X射线显微分析
3.4.3 电子能谱分析
3.4.4 二次离子质谱(SIMS)
3.5 表面电子态分析
3.6 表面原子态分析
3.7 薄膜厚度测量
3.7.1 薄膜厚度的概念
3.7.2 薄膜厚度的测量方法
3.8 薄膜电学性能测量
3.8.1 四点探针法
3.8.2 霍尔效应
3.9 薄膜光学性能测量
3.9.1 透射率和反射率测量
3.9.2 椭圆偏振测量技术
参考文献
第四章 透明导电薄膜的结构特性
4.1 概述
4.2 ITO薄膜的结构特性
4.2.1 ITO薄膜的相结构
4.2.2 ITO薄膜的成分分布及化学态
4.2.3 ITO薄膜的组织形貌
4.3 ZnO：Al薄膜的结构特性
4.3.1 ZnO薄膜的相结构
4.3.2 ZnO薄膜的晶体生长模式
4.3.3 ZnO薄膜的成分分布及化学态
4.3.4 ZnO薄膜的能带结构及表面功函数
参考文献
第五章 透明导电薄膜的电学性能
5.1 概述
5.2 半导体薄膜中的电荷输运现象
5.2.1 单晶半导体材料中的电传导
5.2.2 多晶材料中的电传导
5.2.3 非晶材料中的传导机制
5.3 未掺杂透明导电薄膜的电学性能
5.3.1 沉积工艺参数的影响
5.3.2 薄膜厚度的影响
5.3.3 沉积后退火处理的影响
5.4 掺杂透明导电膜的电学性能
5.4.1 掺杂量的影响
5.4.2 沉积工艺参数的影响
5.4.3 沉积后退火处理的影响
5.5 透明导电薄膜导电机制的实验研究
5.6 透明导电氧化物薄膜电学性能的几个值得关注的问题
参考文献
第六章 透明导电薄膜的光学性能
6.1 概述
6.2 光学常数
6.2.1 折射系数和消光系数
6.2.2 禁带宽度
6.3 光学和电学性质的关联性
6.4 半导体氧化物薄膜的光学性质
6.4.1 禁带宽度
6.4.2 折射系数和消光系数
6.4.3 透射、反射和吸收
6.5 提高透明导电氧化物薄膜光学性能值得关注的技术
参考文献
第七章 透明导电薄膜的应用研究
7.1 概述
7.2 透明导电薄膜的性能指数
7.3 波长(频率)选择特性应用
7.3.1 波长(频率)选择特性
7.3.2 掺杂对光学性能的影响
7.4 在薄膜太阳能电池上的应用
7.4.1 薄膜太阳能电池结构
7.4.2 透明导电氧化物薄膜太阳能电池
7.4.3 透明导电薄膜用于太阳能电池的面电极
7.5 在显示器件上的应用
7.5.1 透明导电薄膜在发光二极管上的应用
7.5.2 ITO透明导电薄膜在长寿命电致发光器件上的应用
7.5.3 SnO2、ITO透明薄膜电极在PbO光电导靶上的应用
7.5.4 SnO2、ITO透明导电薄膜电极在液晶显示器上的应用
7.6 在气敏元件上的应用
7.6.1 甲烷和丙烷气敏元件
7.6.2 一氧化碳探测器
7.6.3 氢气敏元件
7.6.4 乙醇探测器
7.6.5 氮氧化物气敏元件
7.6.6 其他气体的气敏元件
7.7 ZnO薄膜在压电器件中的应用
7.7.1 ZnO压电薄膜的制备
7.7.2 压电性能
7.7.3 压电薄膜的应用
7.8 其他应用
7.8.1 In2O3、ITO透明导电薄膜在航空航天、汽车、高速列车上的应用
7.8.2 透明导电薄膜在电子器件上的应用
7.8.3 在防护涂层方面的应用
7.9 透明导电薄膜今后应着力研究解决的重要科学技术
参考文献
前言/序言
半导体物理学在最近几十年取得了惊人的进展，其动力源于半导体材料及其广阔的应用背景与理论和应用的有机结合。这一方面推动了基础理论的进步，另一方面促进了新型实用材料体系和先进工艺制备技术的不断涌现。充分体现新材料是支撑现代文明社会的基础和促进高技术发展的先导。微电子技术特别是显示技术和太阳能光电转换技术等热点领域的巨大需求，使得无论从基础研究还是应用开发方面，推动了一个很重要的领域——氧化物半导体透明导电薄膜体系——的蓬勃发展。
用户评价
与市面上许多侧重于最新前沿突破的科技书籍不同，这本书的价值在于其对基础理论的扎实梳理和对经典方法的详尽回顾。我惊喜地发现，书中对那些已经不太常被提及的、早期的制备技术，如溶胶-凝胶法（Sol-Gel）的变种和电化学沉积的优化参数，都进行了近乎百科全书式的详尽介绍。这对于身处实验室、需要快速复现或改进老方法的工程师来说，无疑是极大的便利。我特别留意了作者在某一特定实验流程中的“陷阱”警示部分，这些细节往往是教科书和顶会论文中略去的，但却是决定实验成败的关键。例如，关于前驱体溶液配比中微小水分残留可能对最终薄膜结构造成不可逆影响的分析，描述得极其细致入微。这表明作者不仅是理论的构建者，更是实践的亲历者，这种基于“踩坑经验”的知识传授，其价值远超纯粹的理论推导，它让学习者在尝试新方法时，能够更少地走弯路。
评分这本书的装帧设计实在令人眼前一亮，那种低饱和度的蓝色调，配上精妙的排版和恰到好处的留白，初次捧读时就给人一种沉静而专业的印象。内页纸张的质感也十分考究，即便是长时间阅读，眼睛也不会感到过分疲劳。我尤其欣赏作者在引言部分所展现出的那种宏大叙事的气魄，它并非简单地罗列技术细节，而是将整个领域的发展脉络娓娓道来，仿佛带领我们穿越了半个多世纪的材料科学史。书中对早期发现的那些看似不起眼的小实验的描述，生动得让人仿佛身临其境，感受到了科学探索的艰辛与乐趣。比如，关于锌氧化物早期在荧光屏上的应用，作者的文字充满了人文关怀，将冰冷的技术原理与人类对光明的追求巧妙地融合在一起。读完第一章，我已经对这个研究方向产生了浓厚的兴趣，它不仅仅是一本技术手册，更像是一部材料科学的编年史，充满了对前辈智慧的敬意。整体来看，这本书的阅读体验是极其舒适且富有启发性的，从视觉到思想层面，都达到了相当高的水准。
评分从跨学科融合的角度来看，这本书的视野非常开阔，它成功地将材料科学、固体物理、化学工程甚至光学工程的知识点巧妙地编织在一起。我尤其欣赏其中关于界面工程对器件性能影响的章节，作者没有将界面视为一个简单的物理边界，而是将其视为一个复杂的、具有独立电子特性的功能层来对待。书中对于不同电沉积电极材料与基底之间范德华力和化学键合强度的对比分析，直接关联到了最终薄膜的应力状态和长期稳定性。这种深入到原子尺度和宏观应用之间的往返穿梭能力，是很多单一学科书籍所不具备的。对于那些希望将基础研究成果快速转化为实际应用，比如开发下一代显示技术或高效太阳能电池的研究人员而言，这本书提供了必要的跨界思维工具，它不仅仅告诉你“是什么”，更重要的是，它教你“如何从不同角度去理解和解决问题”，拓宽了我们对“薄膜”这一概念的认知边界。
评分这本书的逻辑构建和章节间的过渡处理，展现了作者深厚的学术功底和极强的组织能力。我通常在阅读专业书籍时，容易在概念的跳跃性上感到困惑，但这本书在这方面做得非常出色。作者似乎总能预判到读者思维的下一步，总能在最恰当的时机引入新的理论模型或实验数据来支撑前文的论断。例如，在讨论薄膜生长动力学的部分，作者先用类比的方式解释了原子层沉积（ALD）的基本过程，随后立刻跟进量子力学层面的能垒分析，这种由宏观到微观、再回归宏观的叙事结构，使得复杂的物理化学过程变得清晰易懂，不再是晦涩难懂的公式堆砌。特别是对晶界散射效应的阐述，作者使用了好几个不同的数学模型进行交叉验证，这对于希望深入探究机理的研究者来说，简直是宝藏级别的参考资料。这种严谨而不失灵活的论述方式，让原本枯燥的理论学习过程变成了一种享受，我甚至会时不时地停下来，思考作者提出的每一个论证背后的深层含义。
评分这本书的语言风格是相当鲜明且具有个人色彩的，它不像某些学术著作那样矫揉造作或故作高深，而是用一种非常坦诚和对话式的口吻与读者交流。行文中不乏一些作者自己对研究领域未来走向的独到见解和带着幽默感的个人评论，这大大增强了阅读的趣味性。举个例子，当讨论某些商业化产品在性能上遇到的瓶颈时，作者会用“这就像在试图用一把钝刀切黄油”这样的比喻来形容，瞬间就能抓住读者的注意力。同时，作者在引用参考文献时也极为审慎，不仅罗列了关键文献，还经常附带一句精炼的评价，说明该文献的开创性或局限性，这使得读者在查阅原始资料时，目标性更强，效率更高。这种亦师亦友的叙事策略，使得读者在学习过程中，感觉不是在独自面对一堆冰冷的知识点，而是在一位经验丰富的导师的陪伴下进行探索，让人感到既踏实又充满干劲。
评分很值得看，价格也非常便宜，比实体店买便宜好多还省车费。书的内容直得一读
评分内容很全面，帮助很大！
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评分内容很全面，帮助很大！
评分透明导电氧化物薄膜,好书，比书店便宜，送货快
评分到廊坊送货速度很快。。没什么质量问题。
评分就用个塑料袋套了一下，收到货书角都磕坏了，不想退了，将就看吧
评分很好的书籍很好的学习必备佳品，，，，希望宣传能给力的，能越做也好，下次还会在来的额，京东给了我不一样的生活，这本书籍给了我不一样的享受，体会到了购物的乐趣，让我深受体会啊。
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