发表于2024-11-23
内容简介
本书从高纯气体与集成电路等的关系说明气体纯度重要性。集成电路的制造包括成膜、刻蚀、掺杂和注入、平衡和清洗等,无不需要各种高纯气体。高纯气体的制取是本书的核心,在制取高纯气体方面,本书介绍靠前外近期新文献,包括:吸附、精馏、离子液体、贮氢材料、钯扩散、熔体合金、膜分离、吸杂剂、多级离心和制备色谱等新技术。除了气相色谱是气体分析的主体外,书中介绍近期新光谱、质谱和纳米技术在高纯气体中杂质分析的应用。考虑高纯气体绝大部分都是易燃易爆和剧毒气体,使用的安全措施尤为重要,其内容还包括:容器、介质、传感器和废气的节能减排。现代高纯气体 下载 mobi pdf epub txt 电子书 格式 2024
现代高纯气体 下载 mobi epub pdf 电子书现代高纯气体 mobi epub pdf txt 电子书 格式下载 2024