發表於2024-11-23
內容簡介
本書從高純氣體與集成電路等的關係說明氣體純度重要性。集成電路的製造包括成膜、刻蝕、摻雜和注入、平衡和清洗等,無不需要各種高純氣體。高純氣體的製取是本書的核心,在製取高純氣體方麵,本書介紹靠前外近期新文獻,包括:吸附、精餾、離子液體、貯氫材料、鈀擴散、熔體閤金、膜分離、吸雜劑、多級離心和製備色譜等新技術。除瞭氣相色譜是氣體分析的主體外,書中介紹近期新光譜、質譜和納米技術在高純氣體中雜質分析的應用。考慮高純氣體絕大部分都是易燃易爆和劇毒氣體,使用的安全措施尤為重要,其內容還包括:容器、介質、傳感器和廢氣的節能減排。現代高純氣體 下載 mobi pdf epub txt 電子書 格式 2024
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