发表于2024-11-25
基本信息
书名:MEMS材料与工艺手册
定价:198.00元
作者:(美)格迪斯,(美)林斌彦,黄庆安
出版社:东南大学出版社
出版日期:2014-03-01
ISBN:9787564140533
字数:
页码:
版次:1
装帧:平装
开本:16开
商品重量:0.4kg
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内容提要
微机电系统(MEMS)技术是一个快速发展的前沿技术领域,使用的材料种类多、工艺方法复杂,需要系统地归纳、分析与整理,以便于读者查阅。《MEMS材料与工艺手册》由利萨·格迪斯著,内容包括MEMS材料,MEMS加工工艺和制造工艺,MEMS工艺集成方法以及工业届已经采用的工艺制造流程案例。本手册适合相关专业高年级本科生、研究生及工程科研技术人员阅读和参考。
目录
作者介绍
文摘
序言
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