MEMS材料与工艺手册

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美格迪斯,美林斌彦,黄庆安 著



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发表于2024-11-25

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图书介绍

店铺: 天启发行图书专营店
出版社: 东南大学出版社
ISBN:9787564140533
商品编码:29533020119
包装:平装
出版时间:2014-03-01


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图书描述

基本信息

书名:MEMS材料与工艺手册

定价:198.00元

作者:(美)格迪斯,(美)林斌彦,黄庆安

出版社:东南大学出版社

出版日期:2014-03-01

ISBN:9787564140533

字数:

页码:

版次:1

装帧:平装

开本:16开

商品重量:0.4kg

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内容提要


微机电系统(MEMS)技术是一个快速发展的前沿技术领域,使用的材料种类多、工艺方法复杂,需要系统地归纳、分析与整理,以便于读者查阅。《MEMS材料与工艺手册》由利萨·格迪斯著,内容包括MEMS材料,MEMS加工工艺和制造工艺,MEMS工艺集成方法以及工业届已经采用的工艺制造流程案例。本手册适合相关专业高年级本科生、研究生及工程科研技术人员阅读和参考。

目录


作者介绍


文摘


序言



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