發表於2024-11-29
基本信息
書名:MEMS材料與工藝手冊
定價:198.00元
作者:(美)格迪斯,(美)林斌彥,黃慶安
齣版社:東南大學齣版社
齣版日期:2014-03-01
ISBN:9787564140533
字數:
頁碼:
版次:1
裝幀:平裝
開本:16開
商品重量:0.4kg
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內容提要
微機電係統(MEMS)技術是一個快速發展的前沿技術領域,使用的材料種類多、工藝方法復雜,需要係統地歸納、分析與整理,以便於讀者查閱。《MEMS材料與工藝手冊》由利薩·格迪斯著,內容包括MEMS材料,MEMS加工工藝和製造工藝,MEMS工藝集成方法以及工業屆已經采用的工藝製造流程案例。本手冊適閤相關專業高年級本科生、研究生及工程科研技術人員閱讀和參考。
目錄
作者介紹
文摘
序言
MEMS材料與工藝手冊 下載 mobi pdf epub txt 電子書 格式 2024
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