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发表于2025-04-05
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图书介绍
出版社: 东南大学出版社
ISBN:9787564140533
版次:1
商品编码:11489686
包装:平装
开本:16开
出版时间:2014-03-01
页数:966
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图书描述
内容简介
微机电系统(MEMS)技术是一个快速发展的前沿技术领域, 使用的材料种类多、工艺方法复杂, 需要系统地归纳、分析与整理, 以便于读者查阅。本手册是大型专业工具书, 以查阅为主。本书内容包括MEMS材料, MEMS加工工艺和制造工艺, MEMS工艺集成方法以及工业届已经采用的工艺制造流程案例。
前言/序言
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用户评价
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☆☆☆☆☆
很好,字迹清晰,下次会再来!
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不错的一本书,值得看
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☆☆☆☆☆
很好的一本书,内容充实全面,值得专业技术人员参考
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☆☆☆☆☆
还不错但是一定要十个字以上就不太好了……
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☆☆☆☆☆
给公司买的,送货很快,全新,正版
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☆☆☆☆☆
书看起来还不错。专业书价格都比较贵。
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☆☆☆☆☆
书不错,本以为是全英文版的呢,拿到手发现是中文的,快递也很给力,一天就到了
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☆☆☆☆☆
内容详尽,通俗易懂,有一定的参考价值
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☆☆☆☆☆
实在是非常的实惠,非常的划算
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