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MEMS材料与工艺手册

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林斌彦 著

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发表于2024-11-22

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图书介绍

出版社： 东南大学出版社
ISBN：9787564140533
版次：1
商品编码：11489686
包装：平装
开本：16开
出版时间：2014-03-01
页数：966

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图书描述

内容简介

微机电系统（MEMS）技术是一个快速发展的前沿技术领域, 使用的材料种类多、工艺方法复杂, 需要系统地归纳、分析与整理, 以便于读者查阅。本手册是大型专业工具书, 以查阅为主。本书内容包括MEMS材料, MEMS加工工艺和制造工艺, MEMS工艺集成方法以及工业届已经采用的工艺制造流程案例。

前言/序言


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用户评价

评分☆☆☆☆☆

书很好是正版，物流也很快

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很好，字迹清晰，下次会再来！

评分☆☆☆☆☆

内容详尽，通俗易懂，有一定的参考价值

评分☆☆☆☆☆

不错的一本书，值得看

评分☆☆☆☆☆

实在是非常的实惠，非常的划算

评分☆☆☆☆☆

好

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还不错，速度也挺快的，印刷还好

评分☆☆☆☆☆

不像是正版，哎，不过当专业书籍看看也无妨

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