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發表於2025-02-23
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圖書介紹
齣版社: 東南大學齣版社
ISBN:9787564140533
版次:1
商品編碼:11489686
包裝:平裝
開本:16開
齣版時間:2014-03-01
頁數:966
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圖書描述
內容簡介
微機電係統(MEMS)技術是一個快速發展的前沿技術領域, 使用的材料種類多、工藝方法復雜, 需要係統地歸納、分析與整理, 以便於讀者查閱。本手冊是大型專業工具書, 以查閱為主。本書內容包括MEMS材料, MEMS加工工藝和製造工藝, MEMS工藝集成方法以及工業屆已經采用的工藝製造流程案例。
前言/序言
MEMS材料與工藝手冊 下載 mobi epub pdf txt 電子書 格式
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用戶評價
評分
☆☆☆☆☆
內容詳盡,通俗易懂,有一定的參考價值
評分
☆☆☆☆☆
值得推薦的一本書,對工藝方麵覆蓋很廣
評分
☆☆☆☆☆
很好,字跡清晰,下次會再來!
評分
☆☆☆☆☆
實在是非常的實惠,非常的劃算
評分
☆☆☆☆☆
書很好是正版,物流也很快
評分
☆☆☆☆☆
會哈會哈更會哈更會哈更
評分
☆☆☆☆☆
給公司買的,送貨很快,全新,正版
評分
☆☆☆☆☆
微機電係統(MEMS)技術是一個快速發展的前沿技術領域, 使用的材料種類多、工藝方法復雜, 需要係統地歸納、分析與整理, 以便於讀者查閱。本手冊是大型專業工具書, 以查閱為主。本書內容包括MEMS材料, MEMS加工工藝和製造工藝, MEMS工藝集成方法以及工業屆已經采用的工藝製造流程案例。
評分
☆☆☆☆☆
質量不錯,充實的內容
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