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MEMS材料與工藝手冊

MEMS材料與工藝手冊 下載 mobi epub pdf 電子書 2025

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林斌彥 著

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發表於2025-04-04

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圖書介紹

齣版社： 東南大學齣版社
ISBN：9787564140533
版次：1
商品編碼：11489686
包裝：平裝
開本：16開
齣版時間：2014-03-01
頁數：966

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圖書描述

內容簡介

微機電係統（MEMS）技術是一個快速發展的前沿技術領域, 使用的材料種類多、工藝方法復雜, 需要係統地歸納、分析與整理, 以便於讀者查閱。本手冊是大型專業工具書, 以查閱為主。本書內容包括MEMS材料, MEMS加工工藝和製造工藝, MEMS工藝集成方法以及工業屆已經采用的工藝製造流程案例。

前言/序言


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用戶評價

評分☆☆☆☆☆

質量不錯，充實的內容

評分☆☆☆☆☆

給公司買的，送貨很快，全新，正版

評分☆☆☆☆☆

贊(≧▽≦)/。。。。。。

評分☆☆☆☆☆

微機電係統（MEMS）技術是一個快速發展的前沿技術領域, 使用的材料種類多、工藝方法復雜, 需要係統地歸納、分析與整理, 以便於讀者查閱。本手冊是大型專業工具書, 以查閱為主。本書內容包括MEMS材料, MEMS加工工藝和製造工藝, MEMS工藝集成方法以及工業屆已經采用的工藝製造流程案例。

評分☆☆☆☆☆

工具書還是第一次買，內容很充實，參考價值還是有一些的。

評分☆☆☆☆☆

很好

評分☆☆☆☆☆

挺好的

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實在是非常的實惠，非常的劃算

評分☆☆☆☆☆

速度很快，很滿意。書是好書

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