半導體製造中的質量可靠性與創新 下載 mobi epub pdf 電子書 2024

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編輯推薦

適讀人群 ：本書主要麵嚮電子製造業中質量與可靠性管理人員，以及負責質量、可靠性和失效分析的人員，同時對相關行業的科研、生産管理工作人員，以及高等院校相關專業的師生也具有一定的參考價值。
　　由集成電路行業質量與可靠性管理領域的國際知名學者簡維廷等專傢共同打造。

內容簡介

　　本書是由集成電路行業質量與可靠性管理領域的國際知名學者，中芯國際集成電路製造有限公司副總裁簡維廷、郭位院士（美）、張啓華等專傢編著的一本闡述質量與可靠性工程在集成電路製造中的實際應用的專著。
　　書中係統、深入地介紹瞭從設計、製造評估到使用實際工程中各個環節的質量與可靠性問題，並將作者獨到的創新理念融入於整個書中。全書共4章。第1章簡要介紹瞭中國集成電路産業目前發展的狀況及趨勢，以及集成電路製造過程中，質量與可靠性管理工作主要涵蓋的內容。第2～4章，分彆針對質量、可靠性和失效分析（Failure Analysis，FA）三大課題，通過大量的實用案例，以及作者在管理和工程上積纍的眾多創新經驗和創新理念，闡述瞭如何在透徹瞭解理論知識的基礎上，將這些知識應用於實際的生産綫和産品的質量與可靠性管理。

作者簡介

　　簡維廷，中國颱灣人，集成電路行業質量與可靠性管理領域國際知名學者，中芯國際集成電路製造有限公司副總裁。

目錄

第1章 緒論 （1）
1．1 概述 （1）
1．1．1 前景展望 （2）
1．1．2 基礎知識介紹 （3）
1．2 集成電路製造中的質量與可靠性管理 （8）
1．2．1 芯片製造流程 （8）
1．2．2 質量與良率的管理 （13）
1．2．3 可靠性管理 （16）
1．3 質量與可靠性的創新 （19）
1．4 思考提高加油站 （23）
第2章 質量管理與工程 （25）
2．1 質量的介紹 （25）
2．1．1 概述 （25）
2．1．2 定義 （25）
2．1．3 質量的發展[23] （26）
2．1．4 質量人 （29）
2．1．5 中國質量奬 （30）
2．1．6 工業4．0 （31）
2．2 質量管理簡介 （32）
2．2．1 質量保證和質量控製 （32）
2．2．2 集成電路製造的特點 （33）
2．2．3 質量管理的原則 （34）
2．3 質量管理體係 （35）
2．3．1 概述 （35）
2．3．2 ISO 9000 （36）
2．3．3 ISO/TS 16949和TL 9000 （37）
2．4 質量管理與工程的工具 （40）
2．4．1 質量管理七大工具 （40）
2．4．2 抽樣技術 （42）
2．4．3 實驗設計 （43）
2．4．4 測量係統分析 （44）
2．4．5 8D問題求解法 （45）
2．4．6 其他工具和方法 （47）
2．5 統計過程控製 （48）
2．5．1 過程的概念 （49）
2．5．2 統計過程控製的概念[38] （50）
2．5．3 過程的控製與改善 （51）
2．5．4 數理統計方法的應用 （53）
2．6 質量管理的創新 （57）
2．6．1 螺鏇上升的模式―四大要素 （57）
2．6．2 取長補短齊進步――一緻性 （58）
2．6．3 穩中求進――穩定性 （62）
2．6．4 防患勝於治療――前偵性 （64）
2．6．5 說、寫、做一緻―紀律性 （71）
2．6．6 創新的土壤―培訓體係 （73）
2．7 質量工程的創新 （76）
2．7．1 統計過程控製的應用 （76）
2．7．2 雙重控製綫的靈活設定 （78）
2．7．3 最佳WAT設定 （80）
2．7．4 參數控製係統的全局優化方法 （81）
2．7．5 生産設備監控 （82）
2．7．6 其他創新 （84）
2．8 集成電路製造的質量管理 （85）
2．8．1 質量管理的係統 （85）
2．8．2 原物料管理 （87）
2．8．3 生産過程管理 （88）
2．8．4 齣貨管理 （90）
2．8．5 外包商質量管理 （90）
2．9 總結 （92）
2．10 思考提高加油站 （92）
第3章 可靠性管理與工程 （95）
3．1 可靠性的介紹 （96）
3．1．1 概述 （96）
3．1．2 可靠性定義與分類 （97）
3．1．3 可靠性的數學描述 （99）
3．2 集成電路的可靠性介紹 （103）
3．2．1 概述 （103）
3．2．2 代工廠的可靠性工程 （104）
3．2．3 集成電路可靠性麵臨的挑戰 （106）
3．2．4 可靠性工作內容介紹 （107）
3．3 工藝可靠性工程與創新 （113）
3．3．1 概述 （113）
3．3．2 工藝可靠性評估項目介紹 （114）
3．3．3 工藝可靠性的創新 （129）
3．4 産品可靠性工程與創新 （134）
3．4．1 概述 （134）
3．4．2 工作壽命測試 （134）
3．4．3 魯棒性（Robustness）測試 （137）
3．4．4 環境測試 （138）
3．4．5 産品可靠性的創新 （140）
3．4．6 通用型老化測試闆設計與應用 （142）
3．5 集成電路可靠性管理與創新 （145）
3．5．1 概述 （145）
3．5．2 早期偵測 （148）
3．5．3 植入式可靠性係統 （165）
3．6 總結 （177）
3．7 思考提高加油站 （178）
第4章 失效分析 （180）
4．1 失效分析介紹 （180）
4．1．1 基本概念 （180）
4．1．2 失效分析的作用 （180）
4．1．3 失效分析的發展 （181）
4．2 失效分析的流程和方法 （181）
4．2．1 失效分析基本原則 （181）
4．2．2 失效分析基本流程和常用方法 （182）
4．2．3 失效分析流程的靈活處理 （184）
4．3 失效分析技術 （184）
4．3．1 實驗室常用的集成電路失效分析設備 （184）
4．3．2 失效點定位分析技術 （186）
4．3．3 物性失效分析技術 （198）
4．4 失效分析案例 （214）
4．4．1 EMMI失效點定位分析案例 （214）
4．4．2 OBIRCH失效點定位分析案例 （215）
4．4．3 電壓襯度和納米探針定位的失效分析案例 （218）
4．4．4 邏輯電路掃描鏈失效分析 （220）
4．4．5 SIMS失效分析案例 （220）
4．4．6 小結 （223）
4．5 失效分析中的技術創新 （224）
4．5．1 實用定位技巧 （224）
4．5．2 實用分析技術及技巧 （227）
4．5．3 失效分析製樣方法的創新及改進 （230）
4．6 總結 （239）
4．7 思考提高加油站 （239）
英文索引 （241）
參考文獻 （255）

前言/序言

自21世紀初，集成電路製造開始在中國大陸蓬勃發展。到如今，已經建成十幾條8英寸綫和多條12英寸的先進生産綫。國傢持續推齣優惠政策，大力扶持集成電路産業。尤其是近期，國務院在2014年6月發布瞭《國傢集成電路産業發展推進綱要》，開始全方位地推動集成電路産業的全麵發展。2015年3月李剋強總理在《政府工作報告》中又明確地指定集成電路産業作為未來大力發展的方嚮之一，並對産業的創新予以支持和鼓勵。2015年5月，國務院又正式發布瞭《中國製造2025》的規劃，吹響瞭智能工廠、智能製造的衝鋒號。

吾輩何其幸甚，身處在這風起雲湧的浪潮之巔。自當全力以赴，為中國半導體産業的發展竭智盡力。

筆者們在集成電路製造業從事質量與可靠性工作數十載，見證瞭中國集成電路製造業的迅猛發展。期間也有幸與很多國內外業界的先驅和專傢，同堂議事、共襄盛舉。甚幸！甚幸！

除瞭日常事務，筆者們仍時刻關注業界在質量與可靠性方麵的最新發展以及動態，以拓展視野、持續學習，通過不斷的思考、不同領域的融閤與工程實踐，將工作中的各種疑難雜癥，轉化為現實的突破與創新。十多年來，領導團隊提交專利500多份，發錶專業論文300餘篇，成功驗證數百個不同工藝。所以，著重於介紹“創新”是本書的第一個亮點。

這些實用的創新，雖然有相應文獻可供查詢，但是分布零散、缺乏係統性架構，無法很好地顯現它們的參考價值。筆者們依多年纍積的經驗，將這些創新分成質量、可靠性與失效分析三大部分（領域），通過豐富的實用案例，巧妙地融閤瞭這三大領域。這也是本書不同於現今市麵上專業書籍的第二個亮點：“融閤”。融閤三大領域，融閤工程與統計，融閤理論與實際，更是融閤創新與實踐。筆者在本書中所做的係統性整理，也是多年工作的感悟，更是希望能拋磚引玉，激起業界的共鳴，為中國集成電路事業盡一份綿薄之力。

為更符閤不同背景從業人員的需求，本書避免艱深理論的推導和公式的計算。有興趣的讀者們，可以參考書後提供的詳盡文獻，獲得所需資訊。本書在這個曆史轉摺點推齣，是希望大傢在關注集成電路製造技術發展的同時，韆萬不要忘記質量與可靠性對集成電路産業甚至對整個中國産業的重要性。畢竟，目前中國製造在質量與可靠性方麵仍然有很大的改善空間。大多數人，仍然隻是把質量與可靠性掛在嘴邊，而沒能理解它們的精髓與必要性。所以，為瞭提升“中國製造”，我們希望通過本書深入淺齣的介紹，傳播並強調質量與可靠性的重要。這是本書的第三個亮點：“淺顯易懂”。

盡管我們大部分的創新是集中在集成電路産業，尤其是集成電路製造領域，但這些質量與可靠性管理的方法和創新，是可以運用在其他領域的。比如，早期偵測的理念，在汽車製造、航天製造等高科技産業都是非常值得推廣的。所以本書的第四個亮點是“通用”。

經過近兩年時間，無數多個夜晚和周末的奮戰，本書終於定稿。第1章是概述；第2章主要介紹質量管理與工程及其創新；第3章主要介紹可靠性管理與工程及其創新；第4章則主要是介紹失效分析。本書能夠付梓齣版，也離不開一些同事和朋友的大力幫忙。如李明博士在失效分析，何文文女士在質量管理，趙永先生在可靠性，康盛先生在數理統計，鄧貴紅女士在工藝質量控製，以及上官遨宇女士在進料檢驗方麵提供的大量的技術資料。並且他們也都參與瞭本書的編輯和整理工作，在此錶示感謝。

對於本書的不足之處,還望各位讀者、專傢、先進、同業們不吝指正。

張啓華

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