集成電路製造技術教程

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李惠軍著 著



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發表於2024-11-11

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圖書介紹

店鋪: 廣影圖書專營店
齣版社: 清華大學齣版社
ISBN:9787302370321
商品編碼:29692572164
包裝:平裝
齣版時間:2014-09-01


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圖書描述

基本信息

書名:集成電路製造技術教程

定價:39.00元

作者:李惠軍著

齣版社:清華大學齣版社

齣版日期:2014-09-01

ISBN:9787302370321

字數:

頁碼:

版次:1

裝幀:平裝

開本:16開

商品重量:0.4kg

編輯推薦


內容提要


李惠軍編著的這本《集成電路製造技術教程》本 著深入淺齣、通俗易懂、內容全麵、操作性強等編寫 原則,簡化瞭不少理論性的推導及內容, 使得本書接近於一本較為實用的工具書特徵,既符閤 本科院校的係統化教學需要,又適用於高等高職高專 類院校的可操作性要求,也可用於半導體器件及集成 電路芯片晶圓製造企業的技術培訓。
本課程教學內容講授現代集成電路製造基礎工藝 ,重點闡述核心及關鍵製造工藝的基本原理。教學 內容共分為15章。前9章以常規平麵工藝為主要教學 內容,包括:集成製造技術基礎;矽材料及襯 備;外延生長工藝原理;氧化介質薄膜生長;半導體 的高溫摻雜;離子注入低溫摻雜;薄膜氣相澱積工 藝;圖形光刻工藝原理;掩膜製備工藝原理等章節。
後6章包括:超大規模集成工藝;集成結構測試圖 形;電路管芯鍵閤封裝;工藝過程理化分析;管芯失 效及可靠性;芯片産業質量管理等教學內容。
本書內容豐富、文字簡練、圖文並茂、結閤實際 ,較為詳盡地闡述瞭當代集成電路製造領域的核心知 識 點。本課程教學安排為三學分(48學時)為宜,任課 教師可根據本校的教學大綱設置適當取捨教學內容, 統 籌教學學時的安排。

目錄


作者介紹


李惠軍,山東日照人。1952年生於濟南。1975年畢業於南京郵電學院一係半導體器件專業。現為山東大學信息科學與工程學院教授、碩士研究生導師,兼任山東大學孟完微電子研發中心主任。中國電子學會《CIE)高級會員,信息産業部《微納電子技術》特邀編委。 主要教學與科研方嚮超大規模集成電路製造工藝技術的研究;超大規模專用集成電路(ASIC)的一體化設計研究:超大規模集成電路SOC(片上係統)芯片的下CAD一體化設計、仿真與優化研究深亞微米,超深亞微米及納米集成化器件ICCAD工藝級與器件物理級可製造性設計領域的碩究。 近年來,承擔並完成瞭三項省、部級科研與教學立項。曾獲山東省科學技術進步二等奬一項,山東省省教委科技進步一等奬一項,山東省省級教學成果一等奬一項。山東省省級教學成果二等奬一項{均為首位)。 近五年來,獨立編著、主編著作四部:1《計算機輔助設計在微電子技術領域中的應用》ISBN7—5636—1365—x(獨立編著),石油大學齣版社;2《集成電路製造技術》ISBN7—90033—29—x(主編),山東省齣版總社;3《集成電路工藝設計仿真與教學平颱》ISBN7—900313—99—O(主編),山東電子音像齣版社;4《現代集成電路製造技術一原理與實踐》多媒體.交互式、立體化教程ISBN47—89496—924—9(主編),電子工業齣版社。近十年,發錶學術論文七十餘篇。

文摘


序言



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