内容简介
《材料研究与应用著作:低温等离子体表面强化技术》从实际应用角度阐述低温等离子体在表面强化领域的应用。首先对低温等离子体的本质、不同等离子体源的特性进行了探讨,然后介绍等离子体辅助物理气相沉积、等离子体增强化学气相沉积、等离子体辅助热处理、等离子体浸没离子注入与沉积、电弧喷涂、等离子喷涂以及堆焊等各种低温等离子体表面强化技术的原理、设备和应用。
《材料研究与应用著作:低温等离子体表面强化技术》可作为从事材料表面强化工作的技术人员、高等学校相关专业研究生和高年级本科生的参考书。
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目录
第1章 绪论
1.1 机械零部件的失效
1.2 磨损失效
1.3 腐蚀失效
1.4 低温等离子体表面强化
参考文献
第2章 等离子体与等离子体源
2.1 等离子体的概念和特点
2.1.1 等离子体
2.1.2 等离子体产生的方式
2.1.3 等离子体的温度
2.1.4 等离子体的特点
2.2 冷等离子体
2.2.1 直流辉光放电等离子体
2.2.2 脉冲辉光放电等离子体
2.2.3 磁控等离子体
2.2.4 电容耦合射频等离子体
2.2.5 电感耦合射频等离子体
2.2.6 微波等离子体
2.3 热等离子体
2.3.1 电弧
2.3.2 真空电弧等离子体
2.3.3 等离子弧
2.3.4 等离子弧的压缩作用
2.3.5 等离子弧的分类
2.3.6 等离子弧的特点
2.4 等离子体源
2.4.1 热阴极等离子体源
2.4.2 电容耦合射频等离子体源
2.4.3 电感耦合射频等离子体(ICP)源
2.4.4 螺旋波等离子体源
2.4.5 微波等离子体源
2.4.6 空心阴极等离子体源
2.4.7 金属蒸气真空电弧(MEVVA)等离子体源
2.4.8 磁控管
参考文献
第3章 等离子体辅助物理气相沉积
3.1 物理气相沉积的概念和分类
3.2 溅射沉积
3.2.1 溅射沉积的原理
3.2.2 直流溅射沉积
3.2.3 射频溅射沉积
3.2.4 磁控溅射沉积
3.3 真空电弧沉积
3.3.1 真空电弧沉积的原理及其优缺点
3.3.2 真空电弧沉积的宏观颗粒污染
3.3.3 阳极电弧沉积
3.4 离子镀
参考文献
第4章 等离子体增强化学气相沉积
4.1 等离子体增强化学气相沉积的原理
4.1.1 等离子体对CVD过程的影响
4.1.2 PECVD沉积薄膜的形成过程
4.2 等离子体增强化学气相沉积的特点
4.2.1 PECVD的优点
4.2.2 PECVD的缺点
4.3 等离子体增强化学气相沉积技术
4.3.1 PECVD技术分类
4.3.2 PECVD工艺装置
4.3.3 PECVD工艺参数
4.3.4 直流等离子体增强化学气相沉积技术(DC-PECVD)
4.3.5 脉冲直流等离子体增强化学气相沉积(脉冲DC-PECVD)
4.3.6 射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)
4.3.7 微波等离子体增强化学气相沉积(MW-PECVD)
4.3.8 电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积(ECR-PECVD)
参考文献
第5章 等离子化学热处理
5.1 等离子渗氮
5.1.1 等离子渗氮原理
5.1.2 等离子渗氮钢的组织
5.1.3 等离子渗氮工艺参数
5.1.4 等离子渗氮设备
5.1.5 等离子渗氮优缺点
5.1.6 等离子渗氮新进展
5.2 等离子渗碳
5.2.1 等离子渗碳原理
5.2.2 等离子渗碳组织
5.2.3 等离子渗碳工艺参数
5.2.4 等离子渗碳设备
5.2.5 等离子渗碳优缺点
5.3 等离子渗氮碳
5.3.1 等离子渗氮碳原理
5.3.2 等离子渗氮碳组织
5.3.3 等离子渗氮碳工艺参数
5.4 等离子渗金属
5.4.1 双层辉光等离子渗金属原理
5.4.2 双层辉光等离子渗金属组织
5.4.3 双层辉光等离子渗金属工艺参数
5.4.4 双层辉光等离子渗金属特点
5.4.5 双层辉光等离子渗金属设备
5.4.6 双层辉光等离子渗金属技术的发展
参考文献
第6章 等离子体浸没离子注入与沉积
6.1 等离子体浸没离子注人原理
6.1.1 等离子体浸没离子注入原理
6.1.2 动态鞘层扩展模型
6.1.3 PIII的优缺点
6.2 PIII设备
6.2.1 真空系统
6.2.2 等离子体源
6.2.3 高压系统
6.2.4 供气系统
6.3 等离子体浸没离子注入与沉积
6.4 金属等离子体浸没离子注入与沉积
6.5 PIIID在耐磨防腐方面的应用
参考文献
第7章 电弧喷涂
7.1 电弧喷涂的原理和特点
7.1.1 电弧喷涂的原理
7.1.2 电弧喷涂的特点
7.2 电弧喷涂设备
7.2.1 电弧喷涂主体设备
7.2.2 电弧喷涂辅助设备
7.3 电弧喷涂工艺
7.3.1 喷涂前处理
7.3.2 主要喷涂工艺参数
7.3.3 涂层的后处理
7.4 电弧喷涂材料
7.4.1 涂层材料的分类及对涂层材料的基本要求
7.4.2 电弧喷涂用金属丝材
参考文献
第8章 等离子喷涂
8.1 等离子喷涂的原理和特点
8.1.1 等离子喷涂的原理
8.1.2 等离子喷涂的工作气体
8.1.3 等离子喷涂的特点
8.1.4 等离子喷涂的分类
8.2 等离子喷涂设备
8.2.1 电源
8.2.2 控制系统
8.2.3 等离子喷涂枪
8.2.4 送粉器
8.2.5 水冷系统
8.3 等离子喷涂工艺参数
8.4 等离子喷涂涂层的形成和结构
8.5 等离子喷涂涂层的性能及其检测
8.5.1 涂层外观
8.5.2 涂层结合强度
8.5.3 涂层孔隙率
8.5.4 涂层厚度
8.5.5 涂层硬度
8.5.6 涂层耐蚀性
8.5.7 涂层耐磨性
8.5.8 热震性能
8.6 等离子喷涂材料
8.6.1 对等离子喷涂材料的要求
8.6.2 金属粉末
8.6.3 陶瓷粉末
8.6.4 其他粉末
8.7 其他等离子喷涂方法
8.7.1 超音速等离子喷涂
8.7.2 微束等离子喷涂
8.7.3 低压等离子喷涂
8.7.4 感应等离子喷涂
8.7.5 液相等离子喷涂
8.7.6 反应等离子喷涂
8.7.7 三阴极轴向送粉等离子喷涂
8.8 等离子喷涂的危害及安全防护
8.8.1 等离子喷涂的危险及危害因素
8.8.2 等离子喷涂的安全防护
参考文献
第9章 堆焊
9.1 手工电弧堆焊
9.2 埋弧堆焊
9.3 熔化极气体保护堆焊
9.4 钨极氩弧堆焊
9.5 自保护药芯焊丝明弧堆焊
9.6 冷金属过渡(CMT)堆焊
9.7 等离子粉末堆焊
9.8 等离子熔化注射和氩弧熔敷注射
参考文献
术语索引
前言/序言
等离子体常被人们称为物质的第四态,这说明它从本质上和我们常见的物质是相同的,但在形态上和物质的气态、液态、固态又有非常大的差别。通过对这些差异的有效利用,人们可以获得一些通过物质常规状态无法获得的有利性能。其中之一,就是把等离子体用在材料表面性能的改变上,特别是金属材料表面性能的强化上。通过使用等离子体作为表面强化的处理环境或处理材料,可以在材料表面获得更高的耐磨性、耐蚀性、耐热性等多种所需的性.能。
按照等离子体所处的温度范围,将工业中应用的等离子体分为高温等离子体和低温等离子体。用于材料表面强化的属于低温等离子体。低温等离子体具有化学活性高,能够和电磁场产生相互作用的特点,在表面强化领域有着得天独厚的优势。采用等离子体进行表面强化处理,可以降低处理温度、加快处理速度、提高处理质量、增强强化效果、降低处理成本、延长零部件使用寿命。
本书从实际应用角度阐述低温等离子体在表面强化领域的应用。首先对低温等离子体的本质、不同等离子体源的特性进行探讨,然后介绍等离子体辅助物理气相沉积、等离子体增强化学气相沉积、等离子化学热处理、等离子体浸没离子注入与沉积、电弧喷涂、等离子喷涂以及堆焊等各种低温等离子体表面强化技术的原理、设备和应用。
本书打破了传统学科领域划分的薄膜制备技术、涂层制备技术、熔敷堆焊技术之间的界限,从低温等离子体的共性及本质出发,对不同的低温等离子体表面强化技术的原理、特性和局限性进行了探讨,揭示出不同表面强化技术的共同本质,为跨越传统界限的低温等离子体表面强化技术找到了理论基础,将对新的低温等离子体表面强化技术的诞生起到促进作用。
本书由沈阳理工大学刘爱国、孙焕焕、孟凡玲撰写,其中第1、2、3、6、7、9章由刘爱国编写,第4、5章由孙焕焕编写,第8章由孟凡玲编写。
本书可作为从事材料表面强化工作的技术人员和高等学校相关专业研究生和高年级本科生的参考书。
由于时间仓促,作者水平有限,书中疏漏在所难免,请同行专家不吝赐教。
材料研究与应用前沿探索:热力学、动力学与材料性能的宏观调控 内容提要: 本书聚焦于当代材料科学与工程领域中至关重要的热力学基础、动力学过程及其在宏观材料性能调控中的应用。全书深入探讨了多相材料体系的相变机制、非平衡态下的演化规律,以及这些基本原理如何指导新型功能材料的设计与制备。重点内容涵盖了从原子尺度到宏观尺度的能量传递、扩散行为、界面反应动力学,以及这些过程如何影响材料的力学、电学、光学和热学特性。此外,本书还详细阐述了先进的计算模拟方法,如分子动力学模拟、蒙特卡洛方法和密度泛函理论在解析复杂材料行为中的应用,并结合了高分辨率表征技术,为材料工程师和研究人员提供了一套系统的理论框架和实践指导。 第一章:材料热力学基础与相平衡 本章构建了理解材料行为的基石——热力学原理。详细阐述了吉布斯自由能、焓变和熵变在材料稳定性和相变驱动力中的核心作用。特别关注了非理想溶液和固溶体的热力学处理,包括拉乌尔定律和亨利定律的扩展应用。 多组分体系的相图解析: 深入剖析了二元、三元相图的构建与解读,重点讨论了共晶、共熔、包析和非变质反应的特征。通过实际案例,展示如何利用相图指导合金成分设计和热处理工艺。 界面热力学: 阐述了表面能、界面能对材料微观结构和宏观性能的显著影响。讨论了晶体与非晶态、液相与固相界面的能量特性,以及毛细作用在粉末冶金和液相烧结中的热力学驱动力。 非平衡态热力学初步: 引入了远离平衡态体系的描述方法,探讨了在快速冷却、高能冲击等极端条件下,传统平衡热力学模型的局限性与修正方向,为理解快速凝固和非晶材料的形成奠定基础。 第二章:材料动力学与扩散行为 动力学是理解材料演化过程的关键。本章聚焦于原子和缺陷的迁移,这是所有材料加工和服役过程中结构演化的根本机制。 扩散理论的深度剖析: 全面回顾了菲克扩散定律,并深入探讨了晶体缺陷(空位、间隙原子、位错)对扩散系数的激活能影响。区分了晶界扩散、表面扩散与体相扩散的相对重要性。 非稳态扩散与快速过程: 针对快速热处理、薄膜生长等非稳态过程,引入了考虑扩散源和汇的复杂模型。详细分析了 Kirkendall 效应及其在界面迁移中的定量描述。 反应动力学与界面控制: 探讨了固-固、固-气、固-液反应的速率控制步骤。通过阿伦尼乌斯方程的应用,评估了温度、浓度梯度和催化剂(界面缺陷)对反应速率的影响,特别是在高温氧化和渗碳等过程中。 第三章:微观结构演化与性能耦合 本章将热力学驱动力和动力学过程整合起来,分析其如何共同决定材料的微观结构,并最终量化宏观性能的提升或退化。 晶化与析出动力学: 深入研究了过冷液体中形核(一次形核、非均相形核)和长大过程的机制,包括岛状生长、层状生长等模式。分析了析出相的尺寸分布、体积分数与时间的关系,及其对机械强度的强化作用(析出强化机制)。 晶界迁移与晶粒生长: 阐述了驱动晶粒粗化的热力学势(晶界能)和晶界运动的动力学阻力(杂质拖曳、双面拖曳)。探讨了通过添加钉扎相(如碳化物)来有效抑制晶粒过度生长的工程策略。 复杂形变的本构关系: 结合微观结构演变,推导和应用了描述材料在高温蠕变、疲劳和应变时效过程中行为的本构方程。重点关注位错运动、孪晶、相变孪晶等塑性变形机制的动力学规律。 第四章:计算材料学与先进模拟方法 为精确预测和解释复杂材料行为,本章系统介绍了先进的计算工具和方法,它们是连接微观机制与宏观性能的桥梁。 分子动力学 (MD) 模拟的应用: 详细介绍了如何构建和校准势函数(如 EAM、MEAM 势),用以模拟材料在高温、高应力下的原子运动轨迹。MD 在模拟扩散通道、位错核心结构、以及快速冷却过程中的非晶形成等方面的优势。 蒙特卡洛 (MC) 方法与相场模型: 阐述了 MC 方法在研究平衡态相变、缺陷有序-无序转变中的应用。重点介绍了相场法(Phase-Field Method),它如何有效地将微观驱动力(界面能)与宏观形貌演化(如裂纹扩展、析出物形状演变)耦合起来。 第一性原理计算: 概述了密度泛函理论 (DFT) 在计算材料基态性质、电子结构、反应能垒方面的能力。强调了如何利用 DFT 预测扩散的激活能和特定界面反应的稳定性,为实验设计提供理论指导。 第五章:功能材料的热力学与动力学控制 本章将前述理论应用于具体的先进功能材料体系,展示如何通过精确控制热力学和动力学参数来定制材料性能。 陶瓷与复合材料的烧结动力学: 分析了液相烧结、固相烧结过程中,液相扩散、固相扩散和界面迁移的协同作用。讨论了如何通过控制烧结温度和时间曲线,以获得高密度、高均匀性的结构。 电化学材料的界面动力学: 聚焦于电池电极材料、燃料电池电解质中离子的传输和界面反应。讨论了查诺克-德拜 (Cahn-Hilliard) 理论在电化学界面不稳定性分析中的应用,以及如何通过优化界面结构来提高充放电效率和循环寿命。 热电材料的能带结构与缺陷工程: 探讨了热电材料中载流子浓度、塞贝克系数与晶格热导率之间的热力学权衡。分析了通过引入特定点缺陷或纳米结构来降低晶格热导的动力学机制,以最大化材料的性能因子 (ZT)。 结语: 本书旨在提供一个关于材料系统宏观性能如何源于热力学驱动与动力学实现过程的统一视角。通过对这些基础原理的深入理解和先进计算方法的应用,研究人员将能更有效地设计和开发下一代高性能结构材料和功能材料。